首台国产光刻机“stepper 光刻机”正式出厂交付！stepper 光刻机是由中国科汇华晟研制生产的。 stepper 光刻机工作的原理： Stepper 光刻机的工作原理基于“步进投影”技术，它通过将光源发出的光通过一系列光学元件（如透镜和掩模）投影到硅片上的光刻胶层，形成图案。Stepper 光刻机采用的是逐步曝光的方式，即每次曝光一个图案区域，曝光完成后，光刻机会精确地将硅片移动一个固定的步进距离，再进行下一次曝光。 Stepper 光刻机光源采用紫外光 UV 或深紫外光 DUV，这不同于荷兰 ASML 的极些外光 EUV。目前 EUV 主要用于高端芯片 2/5/7 纳米制程使用，而 EUV 技术主要被西方国家掌控！ 而国产的Stepper 光刻机能够实现非常高的曝光精度，分辨率通常可以达到几十纳米甚至更小。Stepper 光刻机的机械和光学系统非常精密且稳定，能够持续性工作很我合适于量产生产。 目前Stepper 光刻机主要用在咱们的 28 纳米左右的成熟芯片制程，而 28nm 左右的制程很适合在工业 或汽车设备上使用，占芯片使用率的 50% 之多，这对中国来说是一个很大的使用量及出口量，而 EUV 高端的芯片主要用于手机 电脑 等高端产品使用！ 所以Stepper 光刻机的国产化，可以表明中国的光刻机 DUV 不要需要进口了，有国产的就可以使用了，这是中国科技业内的又一大进步，下一次将攻克 EUV 光刻机也不远了！
12306
总攻要开始了
梦里幻花 回复 09-24 01:47
没有被伤害过？
一起去吹风 回复 梦里幻花 09-24 08:40
这不是理由。位卑未敢忘忧国，这是中国的传承。
青荷望
一步一步来。
万般皆下品惟有读书高 回复 09-23 20:03
深圳新凯来光刻机！！！
褀康成金
祝贺新喜！中国人挺起来了！向科学家致敬！你们的辛勤付出，为中国人出了口气！
老牛
有鸡了还怕蛋？
用户10xxx79
工业生产上根本用不了，都是骗人的，中芯国际的人基本都了解实情，这公司雇佣水军大搞舆论贴，就是为了骗国家补助。
用户10xxx39 回复 09-23 10:24
几乎所有的进步都是在指责和猜疑中取得的！
司徒风雨 回复 09-23 09:08
现在不是二十年前了，想骗钱没那么容易，国家也知道，尖端科研的产出率很低，大部分钱都是打水漂，但也要砸钱。
星辰大海
非常棒好样的！👍👍👍
莫当真
我觉得既然是国产的，就别用英文字母，起个中文名字很困难么？
暮雨晓渡 回复 09-24 09:40
故意的，让你觉得高大上啊，其实就是骗补贴，没啥实用性。
用户12xxx24
首台国产光刻机？你是喝高了还是撸high了？上海微电子都卖了多少DuV了
用户12xxx24 回复 09-24 10:56
仔细读小编的文章 首台国产光刻机 “stepper 光刻机” 他压根儿屁都不懂 把 stepper 当成光刻机的品牌
cqs2000 回复 09-24 22:15
仔细阅读定语在哪个位置
小明
为什么不用个盘古类的中文名字呢
灵魂觉醒
相比之下，科汇华晟若在无任何行业背景的情况下突然宣称完成28纳米光刻机的量产，极不符合技术发展规律。 三、结论与建议 1. 消息真实性判定 综合企业主体、技术参数、行业进展等多方面证据，该消息为虚假信息的可能性极高。科汇华晟涉嫌通过拼凑知名企业名称、夸大技术指标来制造热点，但其所述内容缺乏任何可验证的事实依据。 2. 骗补贴风险评估 尽管目前未掌握科汇华晟骗取补贴的直接证据，但其行为符合“技术炒作—吸引关注—申请补贴”的典型套路。建议科技部门和投资机构在审核相关项目时，重点核查以下内容： - 技术真实性：要求提供光刻机的实物照片、测试报告、客户试用反馈等； - 研发投入：核查企业近三年的研发费用支出、设备采购清单及专利申请情况； - 资金流向：追踪政府补贴的使用路径，防止资金被挪用或套取。 3. 公众应对建议 - 理性看待科技新闻：对“重大突破”“国产替代”等标题保持警惕，优先查阅行业权威媒体或政府部门公告；
zhyu1121 回复 09-23 22:45
28纳米是旧技术。。14才是新的（搞7和5纳米芯片一般用到这规格）。。。这新闻是标题党，正常说法应该是，这企业的首款国产而非中国国产首款。国产前几年就有了。如果是中国首款（第一台），那就是1955年了
冰与火之歌
标题误导人，这是具体某一类别光刻机，不是首台国产DUV光刻机。就比如，华为出了首台鸿蒙手机，不能说是首台国产手机。
蓝天大海
不是说可以生产七纳米吗
天尼米苏 回复 09-24 18:14
小作文别被骗了，这台光刻机最多只能生产65纳米的芯片即使采用多重曝光技术也难以达到28纳米不是先进制程
昵称有点长 回复 09-23 08:23
需要多层套刻，良率比较难提高。
默无语
这消息未经证实，真实性存疑。
JYYX 回复 09-23 08:23
中国28本来就可以了。所以欧美对28规格也不禁制出口。
枭龙 回复 09-23 07:42
DUV不止这个，还有其他厂商，哈哈！你可以怀疑，怀疑到死都可以啊！
珠海大叔
上海光刻机公司21年就说交付，23年还在调试，后来就没这个新闻了，都是骗国家补贴，炒作的成份大
暮雨晓渡
感觉有点类似于家用的小型打印机，移动一点打印一点。
换个方向前进
祖国万岁
黎黎黎
估计还没能大规模投产商用吧，不然还不早就上新闻了？也许你叫它小产几百片没问题。但数十万以上的稳定产量估计还做不到吧？
时光飞逝
怕是高调骗子
用户14xxx52
希望光刻机实现量产，走向世界。打破拢断局面！
菱形方块
光刻机干的是产业链，不是一家单独企业能干成的
用户10xxx26
D∪V和E∪∨项目现在已是国家攻关项目，需要集中中国的精密机械、电子光学中最优秀的研究机构和企业才行，干万不要幻想一夜之间靠某个莫名其妙的企业就能大功告成。
用户11xxx32
👍👍
一路阳光319
加油！
用户60xxx26
真还是假？我不可能信
一直没变
看这个厂房就不像有实力的
朝阳
非常值得祝贺一下！
用户70xxx80
万岁
这BOSS有点酷
所有的科学技术发展，实现从0到1是最难的。只要突破了这一步，接下来万事皆可为！攻克EUV也不是什么难事了！
用户10xxx86
启航波涛历万劫 ！ 一朝破茧终成蝶 ！
BabyAmu
中国人不骗中国人
by稚生风璃
这小编是故意打脸菊花水军，可人家这牛皮脸会害怕你吗？9030都14变7了，你这破28还“中国首台”
海坛风 ོ 回复 09-24 13:43
不懂就不要出来丢人了，28nm光刻机经过多重曝光可以实现14nm，7nm光刻，只是每多一重曝光良品率相应就会低一点，成本也就高一点
Tony
任何机器只要有大规模使用，技术改进和提升速度都很快！
司徒风雨
光刻机还是最终的痛，要着手开发生物芯片了。
Maji
记得多年前有个项目叫空中巴士，后来好像原型车还在
蟋蟀爸爸
出篇时审核严谨点有语句不通顺。
网友爆料
这是0和1的区别，有了1，就是100也有路可走，
用户17xxx43
有一就有二，逐步迭代会很快超越
三人成众v
明明是国产，名字却用英文，这就是崇洋媚外！中国的汉字表达不吗？
掌控者
河南人民发来贺电
爆米花
中国光刻机应该用中文，不要用英文
wweekie
步步高？
用户12xxx83
加油中国
XL
国内光刻机现状人人皆知。扯这些“假丶大丶空”有鸟用？！
法阿斯特
一个国产光刻机搞这么看不懂的名字，是为了啥，还是感觉我们文化不够自信。洋名觉得高级。
我儿需要你
补贴在路上了[打脸]中文名都不取，中华文化的自信哪里去了？
风揉碎了云朵
还是华为厉害，据说是华为成立没多久的一家公司
哦豁
是上市公司吗？上市公司的话有很大几率是为了拉高股价出货，和骗补贴。
潮起海风
一步一个台阶，外国有什么了不起了？
单机线上
什么野鸡企业，高精度是多少精度，哗众取宠。
用户12xxx24
所以说自媒体断章取义 步进光刻机就是用来生产落后制程的 不知道他在high 什么
灵魂觉醒
豆包完了，就是假消息，骗补贴的
百年轶群
原来网上吹的光刻厂死哪去了呢？
枭龙 回复 09-23 07:44
哈哈！别激动！我们光刻机厂商可不止一个！
八零后～大叔 回复 09-23 07:43
是想法，没有验证的想法，是需要很大资金的！
5plus5
技术落后，为什么不一次曝光？
哆咪拉克
时间的问题
用户88xxx15
为什么国产的前面加个英文名
用户17xxx56
就怕出现多年前芯片的套路，换个壳就是自己研发的[静静吃瓜]
左拐左拐再右拐
中兴国际，上海微电子，华为，都说研制出了光刻机，现在又出来个洋文名字的光刻机，一看就是假的！
醒悟人生
英文名字？
难得虎兔
几年时间，一个时代的开始