芯片先进制程,我们何止只缺EUV光刻机,其实缺的关键设备和材料老多了。比如:
▪️EUV光刻机——只有荷兰ASML有,我们无
▪️等离子蚀刻机——美国Lam Research
▪️薄膜沉积PVD/CVD——美国 Applied Materials
▪️CMP设备——美国 Applied Materials
▪️离子注入机——美国 Applied Materials
▪️清洗机——日本Tokyo Electron
▪️等离子检测——美国KLA
▪️EUV光刻胶——日本JSR
▪️抛光液——美国cobot
▪️电子气体——美国Air Products
▪️仿真——德国西门子EDA
▪️仿真——美国的Cadence
▪️仿真——美国的Synopsys

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