中国芯片产业最近迎来大突破！2025年4月，中科院上海光机所林楠研究员团队成功研

茶香四溢 2025-11-26 15:42:17

中国芯片产业最近迎来大突破！2025年4月，中科院上海光机所林楠研究员团队成功研发出基于固体激光器的LPP - EUV光源。EUV光刻是造7纳米以下先进制程芯片的核心技术，其光源系统是光刻机“心脏”。以往传统EUV光源依赖美国Cymer公司的二氧化碳激光器，技术被美方封锁。林楠团队另辟蹊径用固体脉冲激光器作驱动光源，能量转换效率达3.42%，超越欧美同类型研究水平。虽未达商用标准，但已超荷兰和瑞士团队，是打破美国垄断的关键一步，也为国产EUV光刻机研发奠定基础，未来可期！

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评论列表

happy

7

2025-11-26 18:47

加油

keketao998

4

2025-11-30 22:12

先保密

感谢大家的关注

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