中国自研光刻机，真需要谁批准？ 前几天刷到个奇怪问题，说中国研发DUV光刻机怎么没经过美国同意。这话说出来，自己不觉得荒唐吗？技术这东西，什么时候要别国点头才能搞了？但仔细一想，背后其实根本不是什么“允许不允许”的事，而是活生生被逼出来的路。 你知道一台光刻机有多难造吗？从激光光源到光学镜头，再到精密工件台，随便一个部件都能卡死一个国家的芯片产业。荷兰ASML垄断了这么多年，不是没对手，而是别人压根拼不起这条产业链。而中国以前买得起的时候，基本靠进口，尤其是28nm以上的成熟制程设备，几乎全指着ASML供货。可2022年美国一纸新规下来，高端DUV光刻机出口审批直接拖到18个月起步，连维修用的备件都开始断供。有些晶圆厂里的设备坏了，等半年都等不来零件，机器只能停着干耗电。 这种局面拖下去，整个制造业都得受影响。汽车芯片每年需求涨23%，手机、家电、工业控制全要这类芯片，2025年国内对DUV设备的需求量已经冲到280台。你不自己动手，难道干坐着等别人施舍？上海微电子在2024年推出SSA800系列，能跑28nm制程，还过了中芯国际的验证，算是真正意义上迈出关键一步。这背后可不是一家企业闷头干出来的。科益虹源把40W级ArF准分子激光做出来了，华卓精科的双工件台定位精度做到1.7nm，长春光机所的镜片、南大光电的光刻胶也一个个跟上。整条链子，慢慢接上了。 以前总有人说，中国搞不了高端设备，缺技术、缺人才、缺时间。可你看数据：2025年中国光刻领域专利申请量全球第一，其中六成是“非对称创新”，绕开了外国专利墙。国家投钱也是真下本，《十四五集成电路产业规划》里光刻机排在“卡脖子”首位，中央财政五年砸了500多亿，研发费用加计扣除提到120%。上海微电子的90nm机型现在占国内市场八成，长江存储、长鑫存储这些大厂也都表态，未来三年国产设备采购比例要提到40%。 其实早在1996年，《瓦森纳协定》就把高端光刻机列入对华禁运清单，2023年美国又逼荷兰禁售大部分浸没式DUV机型，连售后服务都卡。买不到、修不了，设备慢慢变废铁——这招不可谓不狠。可你想封死一条路，别人就真没路走了？反而逼出了一股劲儿。中科院和清华联合企业搞协同攻关，光刻胶验证周期从18个月压到14个月；国家基金三期拨了300亿专攻光源、光学系统这些核心模块。 2025年，国产DUV光刻机整体国产化率从2023年的不到5%升到了15%。数字看着不大，但你知道这意味着什么吗？是一个个技术节点被啃下来，是一台台设备从无到有。现在28nm浸没式机型已经进入量产验证，良率也达标了。这不是偶然，是无数人熬着夜、反复试错换来的。 技术这东西，本就不该是谁的“恩赐”。你封锁，我就更得自己上。道理就这么简单。
