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半导体设备:产业链梳理! 1.前道核心工艺整机(刻蚀、沉积、热处理) 2.清洗

半导体设备:产业链梳理!

1.前道核心工艺整机(刻蚀、沉积、热处理)
2.清洗、电镀专用设备
3.高纯工艺系统、真空气路配套
4.晶圆检测、封装设备
5.核心零部件靶材、真空泵等
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