半导体光刻机板块，行情逻辑迎来历史性质变！13只光刻机全产业链核心龙头（干货精简）

设备整机 & 检测核心

张江高科（600895）上海微电子核心股东，板块人气总龙头，资金持续抱团，走势极强。

中科飞测（688361）国产半导体量检测设备龙头，独家配套上海微电子28nm光刻机，业绩确定性拉满。

芯碁微装（688630）国内直写光刻绝对龙头，PCB成像设备全球市占第一，获多家机构重点推荐。

高端光学组件核心

茂莱光学（688502）国内唯一量产DUV光刻投影物镜镜片，绑定上海微电子、供货ASML，高增长预期明确。

中润光学（688307）优质光学元件供应商，光刻机业务弹性巨大，后续成长空间充足。

炬光科技（688167）光场匀化器全球市占率40%，深度配套全球顶级光学企业，技术壁垒极高。

光刻材料 & 特种气体

雅克科技（002409）光刻胶+半导体前驱体双赛道龙头，近期多次大阳线拉升，资金活跃度顶尖。

鼎龙股份（300054）CMP材料国内市占超70%，高端KrF/ArF光刻胶跻身国内第一梯队。

华特气体（688268）半导体特种气体核心供应商，深度受益光刻机产业链国产替代浪潮。

核心零部件 & 靶材设备

江丰电子（300666）全球靶材龙头，国内唯一实现3nm制程靶材批量供货的企业。

华辰装备（300809）光刻机关键零部件核心标的，机构预测2026年净利增速超60%。

旭光电子（600353）光刻机照明系统激光器件供应商，短线爆发力强，频繁领跑板块涨幅。

富创精密（688409）半导体设备精密零部件领军企业，板块走强核心受益标的。