【国产DUV光刻机】产业链 11家主要上市公司

1. 张江高科 （600895）

通过张江浩成参股上海微电子约10.78%，最直接的整机股权受益标的。

2. 茂莱光学 （688502）

精密光学镜头、物镜组件，批量供货上海微电子，DUV核心光学器件供应商。

3. 波长光电（301421）

DUV照明系统、投影物镜组件研发配套，对接上微光路系统。

4. 福晶科技（002222）

LBO/BBO非线性光学晶体，193nm DUV光源核心晶体材料，供应科益虹源、上海微电子。

5. 炬光科技 （688167）

光场匀化器、光束整形模块，光源光路配套组件。

6. 奥普光电 （ 002338）

光栅尺、精密测控部件，工件台定位测量部件，长光所体系。

7. 富创精密 （688409）

真空腔体、精密结构件，光刻机机加工零部件。

8. 新莱应材 （ 300260）

超高纯管路、阀门、气路系统，光刻机真空/气体传输配套。9. 南大光电 （300346）

ArF光刻胶（适配28nm‑DUV），国产高端光刻胶龙头。

10. 彤程新材 （603650）

KrF光刻胶量产，ArF光刻胶研发验证，适配国产DUV曝光。

11. 芯源微 （688037）

涂胶显影设备，与DUV光刻机1:1配套，前道工艺必备。

仅产业链梳理，不构成任何买卖依据！