没想到中国光刻胶研发的"大佬"级别的人物竟然是她。
她就是2026年新晋中华人民共和国国际科学技术合作奖得主——艾尔莎·瑞秋曼尼斯。 可能不少人对这个名字很陌生,但在全球半导体光刻材料领域,她绝对是殿堂级的大佬。
艾尔莎·瑞秋曼尼斯(Elsa Reichmanis),1953年生,拉脱维亚裔美国人,22岁就拿下了雪城大学有机化学博士,随后一头扎进AT&T贝尔实验室,在那儿干了二十多年。她最硬核的本事,是在上世纪80年代搞出了可工业化的深紫外化学放大光刻胶——往光刻胶里加光酸产生剂,一个深紫外光子激发出微量酸,酸在后续烘烤中当催化剂推着树脂发生脱保护反应,一个光子能撬动成百上千次化学变化,灵敏度比传统光刻胶翻了上百倍。没有这套东西,248nm、193nm乃至后来的EUV光刻全得卡壳,芯片从半微米缩到7纳米基本不可能按原时间表实现。
她不是只发论文就完事的人。当年贝尔实验室的洁净室里,她常盯晶圆涂胶显影盯到大半天,手边永远摊着华裔学生递来的测试参数,用铅笔在图表上圈圈画画,念叨"酸扩散再压一点"。那些被她带出来的华裔弟子,后来有的进了中芯国际、台积电扛光刻材料研发,有的回北大、中科院当博导——这算是她和中国半导体圈子最早的缘分。
真正把合作落到实处的节点是2005年。那年她率美国化学会代表团访华,有同行劝她"注意分寸",别什么都往外讲,她没接这话,转头就跟中国化学会、中科院、北大签了合作框架。2013年起跟东华大学先进纤维材料全国重点实验室深度绑定,一干就是十几年——不是挂名顾问,是真改论文,改到红笔批注比学生正文还长;联合培养的博士生里好几个进了国家级青年人才计划;跟中方团队合作发了18篇高水平论文、合出一本专著;连续四届坐镇先进纤维与聚合物材料国际会议学术委员会主席,硬把一个专业小会办成了全球同领域规模最大的学术平台。
2024年上海先给了她"上海市国际科技合作奖",今年7月8日北京人民大会堂又把中华人民共和国国际科学技术合作奖颁给她——这奖一年不超十位外国专家,同批还有诺奖得主、光伏之父马丁·格林,她站进去毫不违和。美国三院院士(国家工程院、发明家科学院、艺术与科学院),曾任美国化学会主席、美国工程院主席团理事,这些头衔在她领奖时反倒显得次要,重要的是她用几十年证明了:基础科学和关键材料机理不该被铁幕锁死,谁愿意帮你趟过认知盲区、把方法论教给你,谁就值得被郑重致谢。
眼下国产光刻胶还在爬坡,ArF、EUV级别的自主化仍是难啃的骨头。可回头看,瑞秋曼尼斯做的事恰恰说明一个问题——技术突围不全靠闭门死磕,也靠那些愿意跨洋把底层原理讲清楚、把人才送出来的真朋友。我们记住她,不是跪舔西方大牛,是承认:科学无国界这句话要是真有人活出来过,她算一个。
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